透反射金相顯微鏡是一種專門用于研究金屬材料組織結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)儀器。采用高分辨率、低像散和良好的物鏡系統(tǒng),以及計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)等新技術(shù),為材料科學(xué)和工程學(xué)領(lǐng)域的研究提供了強(qiáng)大的工具。其原理是基于折射和反射現(xiàn)象。當(dāng)光束穿過透鏡到達(dá)樣品表面時(shí),一部分光線被折射進(jìn)入樣品內(nèi)部,另一部分光線被反射回來。通過樣品反射的光線,透反射金相顯微鏡能夠揭示出材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組織。
一、光學(xué)系統(tǒng)
功能:實(shí)現(xiàn)光線的聚焦、放大與成像,是顯微鏡的核心部分。
組成與特點(diǎn):
物鏡組
類型:
低倍物鏡(如4×、10×):數(shù)值孔徑(NA)較小,景深大,適合快速定位樣品區(qū)域。
高倍物鏡(如40×、100×):NA值高(如100×油鏡NA可達(dá)1.25),分辨率強(qiáng),但景深淺,需精確調(diào)焦。
特殊物鏡:如暗場(chǎng)物鏡(斜射照明)、偏振物鏡(帶起偏/檢偏功能)、熒光物鏡(激發(fā)特定波長光)。
特點(diǎn):物鏡前端通常標(biāo)注放大倍數(shù)、NA值及工作距離(WD),100×油鏡需配合浸油使用以提升分辨率。
目鏡組
類型:
普通目鏡(如10×、15×):提供二次放大,部分目鏡帶刻度(如視場(chǎng)直徑18mm)用于測(cè)量。
高眼點(diǎn)目鏡:適合佩戴眼鏡者使用,出瞳距離長(>15mm)。
測(cè)微目鏡:內(nèi)置分劃板(如0.1mm刻度),用于直接測(cè)量樣品尺寸。
聚光鏡系統(tǒng)
明場(chǎng)聚光鏡:
結(jié)構(gòu):由多片透鏡組成,可升降調(diào)節(jié)(如阿貝聚光鏡NA=1.25)。
功能:將光源發(fā)出的光線聚焦成平行光,均勻照射樣品。
暗場(chǎng)聚光鏡:
結(jié)構(gòu):中心遮光板+環(huán)形透鏡,使光線以斜角照射樣品。
功能:僅散射光進(jìn)入物鏡,適用于觀察晶界、缺陷等低對(duì)比度結(jié)構(gòu)。
偏振聚光鏡:
結(jié)構(gòu):內(nèi)置起偏鏡(偏振片),與檢偏鏡(物鏡后端)配合實(shí)現(xiàn)偏振光觀察。
補(bǔ)償器與濾光片
補(bǔ)償器:如λ/4或λ/2波片,用于增強(qiáng)偏振光觀察中的相位差對(duì)比度。
濾光片:
綠色濾光片:減少眩光,提升圖像清晰度。
黃色濾光片:適用于觀察熒光樣品,阻斷激發(fā)光干擾。
二、機(jī)械系統(tǒng)
功能:支撐光學(xué)部件,實(shí)現(xiàn)樣品定位與調(diào)焦。
組成與特點(diǎn):
載物臺(tái)
結(jié)構(gòu):
雙層載物臺(tái):上層為樣品放置平臺(tái)(帶X/Y軸移動(dòng)旋鈕),下層為基座。
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái):支持360°旋轉(zhuǎn),便于觀察各向異性樣品(如晶粒取向)。
功能:
移動(dòng)范圍:通常X/Y軸移動(dòng)范圍≥50mm,精度≤1μm。
固定裝置:彈簧壓片或磁性夾具,防止樣品移動(dòng)。
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
粗調(diào)焦手倫:
功能:快速調(diào)節(jié)載物臺(tái)高度,使物鏡接近樣品(避免碰撞)。
特點(diǎn):行程長(如20mm),但精度低(約10μm/轉(zhuǎn))。
微調(diào)焦手倫:
功能:精細(xì)調(diào)焦,實(shí)現(xiàn)圖像清晰化。
特點(diǎn):行程短(如0.2mm),精度高(≤0.1μm/轉(zhuǎn)),部分顯微鏡配備微調(diào)焦限位裝置防止過調(diào)。
物鏡轉(zhuǎn)換器
結(jié)構(gòu):旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)盤,可安裝3-5個(gè)物鏡。
特點(diǎn):
定位精準(zhǔn):物鏡切換后自動(dòng)對(duì)齊光軸,偏差<1μm。
防撞設(shè)計(jì):部分轉(zhuǎn)換器配備彈簧緩沖裝置,避免物鏡碰撞樣品。
三、照明系統(tǒng)
功能:提供穩(wěn)定、可控的光源,支持透射與反射觀察模式切換。
組成與特點(diǎn):
光源類型
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特點(diǎn):色溫約3200K,光譜連續(xù),適合明場(chǎng)/暗場(chǎng)觀察。
壽命:約2000小時(shí),需定期更換。
LED燈:
特點(diǎn):壽命長(>50000小時(shí))、節(jié)能、色溫可調(diào)(如5500K白光)。
應(yīng)用:支持熒光觀察(需特定波長LED)。
汞燈/氙燈:
特點(diǎn):高強(qiáng)度紫外光,適用于熒光顯微鏡。
照明模式
透射照明:
路徑:光源→聚光鏡→樣品→物鏡→目鏡。
適用樣品:薄片(如金相試樣、透明聚合物)。
反射照明:
路徑:光源→聚光鏡→樣品表面反射→物鏡→目鏡。
適用樣品:不透明樣品(如金屬、陶瓷)。
透反射切換:
機(jī)制:通過旋轉(zhuǎn)聚光鏡或插入反射鏡實(shí)現(xiàn)模式切換。
光闌控制
孔徑光闌:
位置:位于聚光鏡下方。
功能:調(diào)節(jié)進(jìn)入物鏡的光線錐角,控制分辨率與對(duì)比度。
視場(chǎng)光闌:
位置:位于光源出口處。
功能:限制照明區(qū)域,減少鏡筒內(nèi)部反射光。
四、圖像采集與處理系統(tǒng)
功能:記錄、分析顯微圖像,提升數(shù)據(jù)可用性。
組成與特點(diǎn):
相機(jī)接口
類型:
C接口:標(biāo)準(zhǔn)接口,兼容多數(shù)工業(yè)相機(jī)。
F接口:適用于高分辨率科研相機(jī)(如sCMOS)。
特點(diǎn):支持相機(jī)旋轉(zhuǎn)(0°/90°/180°/270°),適應(yīng)不同觀察方向。
圖像采集軟件
功能:
實(shí)時(shí)顯示:支持高幀率(如30fps)實(shí)時(shí)觀察。
參數(shù)調(diào)節(jié):曝光時(shí)間、增益、白平衡、對(duì)比度等。
標(biāo)尺與測(cè)量:自動(dòng)生成比例尺,支持長度、面積、角度測(cè)量。
圖像處理:去噪、銳化、偽彩色增強(qiáng)、3D重建等。
輸出與存儲(chǔ)
格式:支持TIFF、JPEG、BMP等通用格式,部分軟件支持RAW格式保留原始數(shù)據(jù)。
存儲(chǔ):內(nèi)置硬盤或外接USB存儲(chǔ)設(shè)備,容量≥1TB。
五、輔助模塊(可選)
加熱臺(tái):
功能:支持樣品加熱(如觀察相變過程),溫度范圍室溫至300℃。
冷卻臺(tái):
功能:配合液氮冷卻,觀察低溫相變或超導(dǎo)材料。
自動(dòng)進(jìn)樣器:
功能:實(shí)現(xiàn)樣品自動(dòng)加載與卸載,提升高通量檢測(cè)效率。
激光共聚焦模塊:
功能:通過點(diǎn)掃描獲取三維層析圖像,分辨率達(dá)納米級(jí)。
